Removing 20 nm PSL Particles Using a Supersonic Nano-particle Beam.

Autor: Inho Kim¹, Kwangseok Hwang¹, Jin Won Lee¹ jwlee@postech.ac.kr

Publikováno v: Journal of Adhesion Science & Technology. May/Jun2012, Vol. 26 Issue 10/11, p1419-1427. 9p. 6 Black and White Photographs, 1 Diagram.

Cryoaerosol Cleaning of Particles from Surfaces.

Publikováno v: Particle Adhesion & Removal; 2015, p453-476, 24p

Controlled Deposition of SiO2 Nanoparticles of NIST-Traceable Particle Sizes for Mask Surface Inspection System Characterization.

Autor: Se-Jin Yook, Fissan, Heinz, Engelke, Thomas, Asbach, Christof, van der Zwaag, Till, Jung Hyeun Kim, Eschbach, Florence, Jing Wang, Pui, David Y. H.

Publikováno v: IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing; May2008, Vol. 21 Issue 2, p238-243, 6p, 8 Black and White Photographs, 3 Diagrams, 3 Graphs

Identification and sizing of particle defects in semiconductor-wafer processing.

Autor: Yoo, Seong-Ho, Weygand, James, Scherer, Juergen, Davis, Lawrence, Liu, Benjamin, Christenson, Kurt, Butterbaugh, Jeffery, Narayanswami, Natraj

Publikováno v: Journal of Vacuum Science & Technology: Part B-Microelectronics & Nanometer Structures; 2001, Vol. 19 Issue 2, p344-353, 10p

Lichtenberg Briefwechsel Bd. 5: Register : Personen- und Sachregister, Nachträge, Besserungen, Verzeichnisse

Autor: Georg Christoph Lichtenberg, Ulrich Joost, Hans-Joachim Heerde

Die hochgerühmte Ausgabe des Briefwechsels Georg Christoph Lichtenbergs,'ein philologisches Muster- und Meisterstück'(FAZ), ist in den Jahren 1983 bis 1992 erschienen. Nun liegt mit den beiden umfangreichen Registerbänden ein Handwerkszeug vor, mi