Zobrazeno 1 - 10
of 31
pro vyhledávání: '"Isoyan, Artak"'
Autor:
Pathak, Piyush, Yan, Qiliang, Schmoeller, Thomas, Croffie, Ebo, Isoyan, Artak, Melvin III, Lawrence S.
Publikováno v:
In Microelectronic Engineering 2009 86(4):500-504
Autor:
Wallace, John, Cheng, Yang-Chun, Isoyan, Artak, Leonard, Quinn, Fisher, Mike, Green, Mike, Bisognano, Joseph, Nealey, Paul, Cerrina, Franco
Publikováno v:
In Nuclear Inst. and Methods in Physics Research, A 2007 582(1):254-257
Publikováno v:
Proceedings of SPIE; 1/11/2018, Vol. 10583, p1-10, 10p
Publikováno v:
Proceedings of SPIE; 8/14/2017, Vol. 10450, p1-10, 10p
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Extreme ultraviolet mask multilayer material variation impact on horizontal to vertical pattern bias
Autor:
Goldberg, Kenneth A., Felix, Nelson M., Melvin, Lawrence S., Kandel, Yudhishthir, Yan, Qiliang, Isoyan, Artak, Gao, Weimin
Publikováno v:
Proceedings of SPIE; March 2018, Vol. 10583 Issue: 1 p105831S-105831S-10, 10477280p
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Autor:
Gargini, Paolo A., Naulleau, Patrick P., Ronse, Kurt G., Itani, Toshiro, Melvin, Lawrence S., Kandel, Yudhi, Isoyan, Artak, Gao, Weimin
Publikováno v:
Proceedings of SPIE; October 2017, Vol. 10450 Issue: 1 p104500F-104500F-10, 10345511p
Publikováno v:
Proceedings of SPIE; March 2017, Vol. 10147 Issue: 1 p101470X-101470X-10, 10045541p
Publikováno v:
Proceedings of SPIE; March 2017, Vol. 10147 Issue: 1 p101470M-101470M-7, 913238p