Zobrazeno 1 - 1
of 1
pro vyhledávání: '"Ingo Österreicher"'
Publikováno v:
Practical Metallography. 46:292-302
Kurzfassung Es wird ein Verfahren vorgestellt, mit dessen Hilfe Defekte in siliziumbasierten Halbleiterbauelementen in allen drei Raumrichtungen für eine TEM-Untersuchung präpariert werden. Die Groblokalisierung der Defekte erfolgte zunächst durch
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::a83f4df1f30c062d89848cf32f2be072
https://doi.org/10.3139/147.110009
https://doi.org/10.3139/147.110009
