Zobrazeno 1 - 10 of 29 pro vyhledávání: '"Ina, Hideki"'
1
Periodical
Thermoelectric generator without temperature difference and related measurement technologies
Autor: Hatsuzawa, Takeshi, Tutsch, Rainer, Yoshizawa, Toru, Ina, Hideki, Nakamura, Takahiro, Shibata, Shuhei, Goto, Hiroshi
Publikováno v: Proceedings of SPIE; December 2022, Vol. 12480 Issue: 1 p124800M-124800M-3, 1123204p
Zobrazit plný text záznamu
2
Conference
Thermoelectric generator without temperature difference and related measurement technologies.
Autor: Ina, Hideki, Nakamura, Takahiro, Shibata, Shuhei, Goto, Hiroshi
Publikováno v: Proceedings of SPIE; 3/24/2023, Vol. 12480, p124800M-124800M-3, 1p
Zobrazit plný text záznamu
3
Conference
Focus and dose control for high-volume manufacturing of semiconductor.
Autor: Sentoku, Koichi, Ebihara, Takeaki, Ina, Hideki
Publikováno v: Proceedings of SPIE; Nov2009, Issue 1, p727238-727238-7, 7p
Zobrazit plný text záznamu
4
Conference
Scatterometry based overlay metrology.
Autor: Matsumoto, Takahiro, Ina, Hideki, Sentoku, Koichi, Oishi, Satoru
Publikováno v: Proceedings of SPIE; Nov2008 Part 2, Issue 1, p69223L-69223L-8, 8p
Zobrazit plný text záznamu
5
Conference
Focus and dose control for high volume manufacturing.
Autor: Ina, Hideki, Sentoku, Koichi
Publikováno v: Proceedings of SPIE; Nov2008 Part 2, Issue 1, p71400Q-71400Q-7, 7p
Zobrazit plný text záznamu
6
Conference
Focus and dose control to actual process wafer.
Autor: Ina, Hideki, Sentoku, Koichi
Publikováno v: Proceedings of SPIE; Nov2008, Issue 1, p692212-692212-8, 8p
Zobrazit plný text záznamu
7
Conference
Critical issues study of nano-imprint tool for semiconductor volume production.
Autor: Ina, Hideki, Kasumi, Kazuyuki, Kawakami, Eigo, Uda, Kouji
Publikováno v: Proceedings of SPIE; Nov2007 Part 2, Issue 1, p65170M-65170M-8, 8p
Zobrazit plný text záznamu
8
Conference
Focus and dose controls, and their application in lithography.
Autor: Ina, Hideki, Sentoku, Koichi, Oishi, Satoru, Miyashita, Tomoyuki, Matsumoto, Takahiro
Publikováno v: Proceedings of SPIE; Nov2007, Issue 1, p651807-651807-8, 8p
Zobrazit plný text záznamu
9
Conference
Focus and dose measurement method in volume production.
Autor: Ina, Hideki, Oishi, Satoru, Sentoku, Koichi
Publikováno v: Proceedings of SPIE; Nov2005, Issue 1, p1371-1382, 12p
Zobrazit plný text záznamu

Vyhledávací nástroje:

Upřesnit hledání

Omezení vyhledávání
Plný text Recenzováno Digitální knihovna AV ČR
Zdroje