Zobrazeno 1 - 9
of 9
pro vyhledávání: '"I. Pottebaum"'
Autor:
Theodore M. Bloomstein, Theodore H. Fedynyshyn, M. Switkes, M. Rothschild, M. Fritze, I. Pottebaum, N. Efremow
Publikováno v:
MRS Bulletin. 30:942-946
Optical lithography at ultraviolet (UV) wavelengths is the standard process for patterning 90-nm state-of-the-art devices in the semiconductor industry, and extensions to 45 nm and below are currently being explored. With such high resolution, the in
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::3a8bceacd9850481ae17fbdefa7ffc4e
https://doi.org/10.1557/mrs2005.247
https://doi.org/10.1557/mrs2005.247
Autor:
S. J. Deneault, Theodore H. Fedynyshyn, I. Pottebaum, Mordechai Rothschild, Theodore M. Bloomstein, M. F. Marchant
Publikováno v:
Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures. 24:2789
Liquid immersion interference lithography at 157nm has been used to print gratings of 27nm half pitch with a fluorine-doped fused silica prism having index of 1.66. In order to achieve these dimensions, new immersion fluids have been designed and syn
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::41f704f6a4d9d6144ace9363fe276cdc
https://doi.org/10.1116/1.2366678
https://doi.org/10.1116/1.2366678
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.