Zobrazeno 1 - 10
of 23
pro vyhledávání: '"I. Mazor"'
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Autor:
L. Perino-Gallice, I. Mazor, J.‐P. Gonchond, C. Wyon, L. Kwakman, D. Delille, D. Muyard, S. Marthon, A. Michallet, A. Tokar, F. Heider, J.C. Royer
Publikováno v:
Thin Solid Films. 450:84-89
Accurate and reliable in-line monitoring of the different films thickness that occur throughout the integrated circuit manufacturing process is mandatory to develop and produce advanced microelectronic devices. X-ray reflectivity (XRR) is a fundament
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::f0dd60ac9ff165538f6868b8df595cf7
https://doi.org/10.1016/j.tsf.2003.10.159
https://doi.org/10.1016/j.tsf.2003.10.159
Autor:
M. Wormington, B. Yokhin, D. Berman, A. Krokhmal, I. Mazor, P. Ryan, J. Wall, R. Bytheway, David G. Seiler, Alain C. Diebold, Robert McDonald, Amal Chabli, Erik M. Secula
Publikováno v:
AIP Conference Proceedings.
High‐resolution X‐ray diffraction (HRXRD) is an established technique for the characterization and metrology of epitaxial thin‐films. However, its use by the silicon semiconductor industry has been limited due to the stringent reliability, spot
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::7a3eb49b55f1b8961193c7f5ecaec7b3
https://doi.org/10.1063/1.3657890
https://doi.org/10.1063/1.3657890
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
In-line Small-Spot X-Ray Fluorescence Assessment of Electroplating and Chemical Mechanical Polishing
Autor:
I. Mazor, A. Tokar, L. Carbonell, Nancy Heylen, J. O’Dell, J. P. Gueneau de Mussy, D. K. Agnihotri, G. Bottiglieri
Publikováno v:
Journal of The Electrochemical Society. 153:G851
In this work we assessed in-line copper thickness evolution on patterned wafers during electroplating (ECD) and chemical mechanical polishing (CMP) steps by means of a novel high-resolution technique based on small-spot X-ray fluorescence ( μ-XRF).
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::c22cec9721b1d309610d3bddc331dd56
https://doi.org/10.1149/1.2219705
https://doi.org/10.1149/1.2219705
Autor:
E I, Mazor
Publikováno v:
Oftalmologicheskii zhurnal. 29(7)
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=pmid________::10b91a7b19d3892dd2119ebecc0e4844
https://pubmed.ncbi.nlm.nih.gov/4437853
https://pubmed.ncbi.nlm.nih.gov/4437853
Autor:
E I, Mazor
Publikováno v:
Oftalmologicheskii zhurnal. 26(8)
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=pmid________::7e4666683fb268b65bc806db12e34224
https://pubmed.ncbi.nlm.nih.gov/4110742
https://pubmed.ncbi.nlm.nih.gov/4110742
Autor:
E I, Mazor
Publikováno v:
Oftalmologicheskii zhurnal. 21(2)
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=pmid________::29804c00d5d833fa7c00b6fc1223b2a6
https://pubmed.ncbi.nlm.nih.gov/5984551
https://pubmed.ncbi.nlm.nih.gov/5984551
Autor:
E I, Mazor
Publikováno v:
Oftalmologicheskii zhurnal. 22(1)
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=pmid________::9d1368befde3f49abd0a628d21866fdf
https://pubmed.ncbi.nlm.nih.gov/5620779
https://pubmed.ncbi.nlm.nih.gov/5620779
Autor:
E I, MAZOR
Publikováno v:
Problemy tuberkuleza. 6
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=pmid________::b1233f5ad0595b34e28292ddc1914515
https://pubmed.ncbi.nlm.nih.gov/14900173
https://pubmed.ncbi.nlm.nih.gov/14900173