Zobrazeno 1 - 2
of 2
pro vyhledávání: '"I Kadad"'
Publikováno v:
Vacuum. 41:1151-1153
Aluminium nitride thin films have been deposited on glass substrates by dc magnetron reactive sputtering in Ar + N2 mixtures. Films are studied by waveguide optical methods and a refined X-ray diffraction technique (phase analysis and pole figure ana
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::e9bf889519dd566a979be21db4ce8080
https://doi.org/10.1016/0042-207x(90)93895-p
https://doi.org/10.1016/0042-207x(90)93895-p
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.