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Silicon Micro-Channel Definition via ICP-RIE Plasma Etching Process Using Different Aluminum Hardmasks

Autor: Alfredo R. Vaz, Audrey R. Silva, Frederico H. Cioldin, José Alexandre Diniz, Hugo S. Alvarez, Luana C. J. Espinola

Publikováno v: Journal of Microelectromechanical Systems. 30:668-674

In this work, thermally evaporated aluminum (Al) was used as hardmask (HM) to obtain silicon microchannels (SiMCs), using an Inductively Coupled Plasma - Reactive Ion Etching (ICP-RIE) system, in SF6/Ar gas mixture environment. The channel depth must

Externí odkaz: https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::6fede28d50ef4b4f141aa1fe026b30be
https://doi.org/10.1109/jmems.2021.3088640

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NH4OH-B Silicon Texturing of Periodic V-Groove Channels, Upright, and Inverted Pyramids Structures

Autor: José Alexandre Diniz, Luana C. J. Espinola, Hugo S. Alvarez, Alfredo R. Vaz, Audrey R. Silva

Publikováno v: IEEE Journal of Photovoltaics. 11:570-574

Periodic V-grooves channels, upright, and inverted pyramids structures were texturized on monocrystalline silicon (c-Si) substrates using ammonium hydroxide (NH4OH) solution. This cheap and CMOS compatible etching solution aims at the integration of

Externí odkaz: https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::236c1c52a7cf0aa7d64d4dbcd7704837
https://doi.org/10.1109/jphotov.2021.3059421

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Desenvolvimento da corrosão do silício usando solução de NH4OH para a obtenção de nano fios de silício para aplicação em transistores 3D

Autor: Frederico H. Cioldin, Larissa Zagati, Lucas Stucchi Zucchi, Audrey R. Silva, Alfredo R. Vaz, Hugo S. Alvarez, Luana C.J. Espindola, José Alexandre Diniz

Publikováno v: Resumos do....

Este trabalho apresenta o desenvolvimento da corrosao do Silicio usando solucao de NH4OH para obtencao de nano fios de Si (com dimensoes menores do que 100 nm) que sao usados como canal de conducao de corrente eletrica de transistores FinFET, que sao

Externí odkaz: https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::04feb122c1349e9ef32878a13927f991
https://doi.org/10.20396/revpibic2720192988

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Fabricação e caracterização de células fotovoltaicas de silício

Autor: Hugo S. Alvarez, José Alexandre Diniz, Gabriel de Loyola Bertão

Publikováno v: Revista dos Trabalhos de Iniciação Científica da UNICAMP.

A demanda por energia a partir de matrizes não fósseis gera um cenário favorável para o avanço de tecnologias de menor impacto ambiental. Diante disso, este projeto visa o desenvolvimento e a caracterização de células fotovoltaicas de heteroj

Externí odkaz: https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::61d5d1966f57d25fe9813e07ed7464fd
https://doi.org/10.20396/revpibic262018481

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