Zobrazeno 1 - 6
of 6
pro vyhledávání: '"Huenlich, Rolf"'
Im Vorhaben wurden Beitraege zur Modellierung und Simulation relevanter Teilprozesse bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen der Nanoelektronik geleistet. Behandelt wurden vorrangig Fragestellungen,die beim Verbundpartner, dem Institut fueur H
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::2787adc76543c3e941d19ea7fbb50636
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Publikováno v:
Proceedings of SPIE; Nov1996, Issue 1, p77-88, 12p
Autor:
Model, Regina, Huenlich, Rolf, Richter, D., Rinneberg, Herbert H., Wabnitz, Heidrun, Walzel, M.
Publikováno v:
Proceedings of SPIE; Nov1995, Issue 1, p11-22, 12p
Publikováno v:
Proceedings of SPIE; Nov1995, Issue 1, p400-410, 11p
Autor:
Model, Regina, Huenlich, Rolf
Publikováno v:
Proceedings of SPIE; Nov1995, Issue 1, p56-65, 10p