Zobrazeno 1 - 5
of 5
pro vyhledávání: '"Huang, George K. C."'
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Autor:
Huang, Hung-Chin, Huang, Yong-Fa, Wu, Steven, Jang, Louis, Lee, Sho-Shen, Huang, George K. C., Chen, Howard, Yu, Chun-Chi, Kurihara, Tomoki, Fukiya, Hitoshi, Yoshida, Hiromu, Yamamoto, Yoshihiro
Publikováno v:
Proceedings of SPIE; Nov2009 Part 2, Issue 1, p72730M-72730M-8, 8p
Sampling strategy: optimization and correction for high-order overlay control for 45nm process node.
Autor:
Hsueh, Bo Yun, Huang, George K. C., Yu, Chun-Chi, Huang, Chin-Chou Kevin, Huang, Chien-Jen, Manka, James R., Tien, David
Publikováno v:
Proceedings of SPIE; Nov2009, Issue 1, p727231-727231-9, 9p
Autor:
Hsueh, Bo Yun, Huang, George K. C., Yu, Chun-Chi, Hsu, Jerry K. C., Huang, Chin-Chou Kevin, Huang, Chien-Jen, Tien, David
Publikováno v:
Proceedings of SPIE; Nov2008 Part 2, Issue 1, p69222Q-69222Q-8, 8p
Autor:
Starikov, Alexander, Cain, Jason P., Chen, Charlie, Huang, George K. C., Pai, Yuan Chi, Wu, Jimmy C. H., Cheng, Yu Wei, Hsu, Simon C. C., Yu, Chun Chi, Amir, Nuriel, Choi, Dongsub, Itzkovich, Tal, Tarshish-Shapir, Inna, Tien, David C., Huang, Eros, Kuo, Kelly T. L., Kato, Takeshi, Inoue, Osamu, Kawada, Hiroki, Okagawa, Yutaka, Huang, Luis, Hsu, Matthew, Su, Amei
Publikováno v:
Proceedings of SPIE; April 2013, Vol. 8681 Issue: 1 p86812R-86812R-9, 781318p