Zobrazeno 1 - 10
of 10
pro vyhledávání: '"Hossain, Azmain"'
Atomic layer etching of SiO$_2$ using sequential exposures of Al(CH$_3$)$_3$ and H$_2$/SF$_6$ plasma
On-chip photonic devices based on SiO$_2$ are of interest for applications such as microresonator gyroscopes and microwave sources. Although SiO$_2$ microdisk resonators have achieved quality factors exceeding one billion, this value remains an order
Externí odkaz:
http://arxiv.org/abs/2405.05491
Autor:
Chen, Ivy I., Solgaard, Jennifer, Sekine, Ryoto, Hossain, Azmain A., Ardizzi, Anthony, Catherall, David S., Marandi, Alireza, Renzas, James R., Greer, Frank, Minnich, Austin J.
Lithium niobate (LiNbO$_3$, LN) is a ferroelectric crystal of interest for integrated photonics owing to its large second-order optical nonlinearity and the ability to impart periodic poling via an external electric field. However, on-chip device per
Externí odkaz:
http://arxiv.org/abs/2310.10592
Autor:
Hossain, Azmain A., Wang, Haozhe, Catherall, David S., Leung, Martin, Knoops, Harm C. M., Renzas, James R., Minnich, Austin J.
Microwave loss in superconducting titanium nitride (TiN) films is attributed to two-level systems in various interfaces arising in part from oxidation and microfabrication-induced damage. Atomic layer etching (ALE) is an emerging subtractive fabricat
Externí odkaz:
http://arxiv.org/abs/2307.02821
We report the isotropic plasma atomic layer etching (ALE) of aluminum nitride using sequential exposures of SF$_6$ plasma and trimethylaluminum (Al(CH$_3$)$_3$, TMA). ALE was observed at temperatures greater than 200 $^\circ$C, with a maximum etch ra
Externí odkaz:
http://arxiv.org/abs/2209.00150
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Publikováno v:
Journal of Vacuum Science & Technology: Part A-Vacuums, Surfaces & Films; May2023, Vol. 41 Issue 3, p1-6, 6p
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.