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Dissertation/ Thesis

Surfactant-gesteuertes Wachstum von Siliciden

Autor: Hortenbach, Heiko

Die Methode der Reaktiven Abscheidung wurde benutzt, um zu untersuchen ob und in welcher Weise das Silicidwachstum mittels einer Monolage aus Sb, d.h. mittels eines surfactant (surface active agent), gesteuert werden kann. Hierzu wurden unter UHV-Bed

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Dissertation/ Thesis

Festphasenreaktionen metallischer Doppelschichten mit Silicium

Autor: Hortenbach, Heiko

In dieser Arbeit wurde der Einfluss dünner Siliciumdioxidschichten auf die im Co(20 nm)/Ti(5 nm)/SiO$_{2}$(0...3 nm)/Si(100) System, bei einer Kurzzeittemperung, ablaufenden Festphasenreaktionen untersucht. Weiterhin wurden Festphasenreaktionen an C

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