Zobrazeno 1 - 8
of 8
pro vyhledávání: '"Hishida, Aritaka"'
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Autor:
Guerrero, Douglas, Amblard, Gilles R., Kudo, Takanori, Cho, JoonYeon, Hishida, Aritaka, Mullen, Salem, Wolfer, Elizabeth, Polishchuk, Orest, Antonio, Charito, Li, Zhong
Publikováno v:
Proceedings of SPIE; April 2024, Vol. 12957 Issue: 1 p129570Y-129570Y-7, 1166138p
Autor:
Guerrero, Douglas, Amblard, Gilles R., Li, Zhong, Kampitakis, Viktor, Her, Youngjun, Antonio, Charito, Kudo, Takanori, Mullen, Salem, Muthuswamy, Elayaraja, Polishchuk, Orest, Ware, Adam, Wolfer, Elizabeth, Yang, Dong, Cho, Joon-Yeon, Hishida, Aritaka, Sekito, Takashi
Publikováno v:
Proceedings of SPIE; April 2024, Vol. 12957 Issue: 1 p1295713-1295713-8
Autor:
Douglas Mckenzie, Shinji Miyazaki, Allen Timko, David J. Abdallah, Ruzhi Zhang, Woo-Kyu Kim, Hengpeng Wu, Lyudmila Pylneva, Hishida Aritaka, Ping-Hung Lu, Dalil Rahman, Mark Neisser, Ralph R. Dammel
Publikováno v:
Advances in Resist Materials and Processing Technology XXV.
Spin-on trilayer materials are increasingly being integrated in high density microfabrication that use high NA ArF lithography due to dwindling photoresist film thicknesses, lower integration cost and reduced complexity compared to analogous CVD stac
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::4a3f8d18355e021ba9ed7a16a12e2500
https://doi.org/10.1117/12.772691
https://doi.org/10.1117/12.772691
Autor:
Abdallah, David J., Miyazaki, Shinji, Hishida, Aritaka, Timko, Allen, McKenzie, Douglas, Rahman, Dalil, Kim, WooKyu, Pylneva, Lyudmila, Wu, Hengpeng, Zhang, Ruzhi, Lu, Ping-Hung, Neisser, Mark, Dammel, Ralph
Publikováno v:
Proceedings of SPIE; Nov2008 Part 2, Issue 1, p69230U-69230U-8, 8p
Autor:
Wu, Hengpeng, Xiang, Zhong, Hishida, Aritaka, Abdallah, David, Shan, Jianhui, Gonzalez, Eleazar, Ding, Shuji S., Neisser, Mark
Publikováno v:
Proceedings of SPIE; Nov2004, Issue 1, p697-702, 6p
Autor:
Wu, Hengpeng, Xiang, Zhong, Gonzalez, Eleazar, Shan, Jianhui, Ding, Shuji, Kang, Wen-Bing, Hishida, Aritaka
Publikováno v:
Proceedings of SPIE; Nov2002, Issue 1, p1112-1118, 7p