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Autor:
Masato Kadotani, Hiroshi Yabe, Takakazu Kitagawa, Hiroki Danjyo, Takashi Matuoka, Tomoko Hirayama
Publikováno v:
The Proceedings of Conference of Kansai Branch. :9-3
Autor:
Takakazu, Kitagawa, Tomoko, Hirayama, Takashi, Matsuoka, Masato, Kadotani, Hiroki, Danjyo, Katsumi, Sasaki, Hiroshi, Yabe
Publikováno v:
同志社大学理工学研究報告 = The Science and Engineering Review of Doshisha University. 48(4):234-240
超精密位置決め用の空気圧サーボ弁と静圧軸受から成る新しいアクチュエータ'空気圧サーボ軸受アクチュエータ'を提案している。このアクチュエータは空気圧サーボ弁によって給気圧