Zobrazeno 1 - 10
of 210
pro vyhledávání: '"Hibert C"'
Publikováno v:
Dans Symposium on Design, Test, Integration and Packaging of MEMS/MOEMS - DTIP 2007, Stresa, lago Maggiore : Italie (2007)
A new Room Temperature (RT) 0-level vacuum package is demonstrated in this work, using amorphous silicon (aSi) as sacrificial layer and SiO2 as structural layer. The process is compatible with most of MEMS resonators and Resonant Suspended-Gate MOSFE
Externí odkaz:
http://arxiv.org/abs/0802.3093
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Autor:
Abi Nader, A, Albaric, J, Steinmann, M, Hibert, C, Malet, J-P, Sue, C, Fores, B, Marchand, A, Gros, M, Celle, H, Pohl, B, Stefani, V, Boetsch, A
Publikováno v:
Geophysical Journal International; Sep2023, Vol. 234 Issue 3, p1807-1818, 12p
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Publikováno v:
In Microelectronic Engineering August 2011 88(8):2556-2558
Publikováno v:
In Microelectronic Engineering 2010 87(5):1348-1351
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.