Zobrazeno 1 - 10
of 21
pro vyhledávání: '"Herrero, Analía Fernández"'
Increasing miniaturization and complexity of nanostructures require innovative metrology solutions with high throughput that can assess complex 3D structures in a non-destructive manner. EUV scatterometry is investigated for the characterization of n
Externí odkaz:
http://arxiv.org/abs/2103.03334
Autor:
Pflüger, Mika, Kline, R. Joseph, Herrero, Analía Fernández, Hammerschmidt, Martin, Soltwisch, Victor, Krumrey, Michael
Publikováno v:
J. of Micro/Nanolithography, MEMS, and MOEMS, 19(1), 014001 (2020)
Background: To ensure consistent and high-quality semiconductor production at future logic nodes, additional metrology tools are needed. For this purpose, grazing-incidence small-angle X-ray scattering (GISAXS) is being considered because measurement
Externí odkaz:
http://arxiv.org/abs/1910.08532
Periodic nanostructures are fundamental elements in optical instrumentation as well as basis structures in integrated electronic circuits. Decreasing sizes and increasing complexity of nanostructures have made roughness a limiting parameter to the pe
Externí odkaz:
http://arxiv.org/abs/1907.05307
Lamellar gratings are widely used diffractive optical elements; gratings etched into Si can be used as structural elements or prototypes of structural elements in integrated electronic circuits. For the control of the lithographic manufacturing proce
Externí odkaz:
http://arxiv.org/abs/1810.08011
Autor:
Soltwisch, Victor, Herrero, Analia Fernandez, Pflüger, Mika, Haase, Anton, Probst, Jürgen, Laubis, Christian, Krumrey, Michael, Scholze, Frank
Laterally periodic nanostructures were investigated with grazing incidence small angle X-ray scattering (GISAXS) by using the diffraction patterns to reconstruct the surface shape. To model visible light scattering, rigorous calculations of the near
Externí odkaz:
http://arxiv.org/abs/1704.08032
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.