Zobrazeno 1 - 2
of 2
pro vyhledávání: '"Heorhii Serhiiovych Koltsov"'
Publikováno v:
Mìkrosistemi, Elektronìka ta Akustika, Vol 22, Iss 6 (2017)
В роботі проведено дослідження спектрів пропускання і фотолюмінісценції шарів пористого кремнію отриманих хімічним травленням з тонк
Externí odkaz:
https://doaj.org/article/f66206c14e254004a65d692695d7cdf9
Publikováno v:
Microsystems, Electronics and Acoustics. 22:6-11
In the paper thin film porous silicon layers on insulator substrates were investigated. Silicon thin film (200-300 nm) was formed by ion-beam and sputter deposition on sapphire and polycorrundum. Than porous silicon was formed by chemical etching in