Zobrazeno 1 - 8 of 8 pro vyhledávání: '"Hatab, Ziad R."'
2
Conference
Optical diffraction tomography for latent image metrology.
Autor: Hatab, Ziad R., Ahmed, Nasir U., Naqvi, S. Sohail H., McNeil, John R.
Publikováno v: Proceedings of SPIE; Nov1997, Issue 1, p515-524, 10p
Zobrazit plný text záznamu
3
Conference
16 MB DRAM trench depth characterization using dome scatterometry.
Autor: Hatab, Ziad R., Prins, Steven L., McNeil, John R., Naqvi, S. Sohail H.
Publikováno v: Proceedings of SPIE; 11/ 1/1994, Issue 1, p2-13, 12p
Zobrazit plný text záznamu
4
Conference
Developed photoresist metrology using scatterometry.
Autor: Murnane, Michael R., Raymond, Christopher J., Hatab, Ziad R., Naqvi, S. Sohail H., McNeil, John R.
Publikováno v: Proceedings of SPIE; 11/ 1/1994, Issue 1, p47-59, 13p
Zobrazit plný text záznamu
5
Conference
Grating parameter estimation using scatterometry.
Autor: Naqvi, S. Sohail H., McNeil, John R., Krukar, Richard H., Hatab, Ziad R.
Publikováno v: Proceedings of SPIE; Nov1993, Issue 1, p170-180, 11p
Zobrazit plný text záznamu
6
Akademický článek
Sixteen-megabit dynamic random access memory trench depth characterization using two-dimensional diffraction analysis.
Autor: Hatab, Ziad R., McNeil, John R., Sohail H. Naqvi, S.
Publikováno v: Journal of Vacuum Science & Technology: Part B-Microelectronics & Nanometer Structures; 1995, Vol. 13 Issue 2, p174-182, 9p
Zobrazit plný text záznamu
7
Periodical
16 MB DRAM trench depth characterization using dome scatterometry
Autor: Hatab, Ziad R., Prins, Steven L., Sohail, S., Naqvi, H., McNeil, John R.
Publikováno v: Applied Surface Science; February 1995, Vol. 86 Issue: 1-4 p597-599, 3p
Zobrazit plný text záznamu
8
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.

Vyhledávací nástroje:

Upřesnit hledání

Omezení vyhledávání
Plný text Recenzováno Digitální knihovna AV ČR
Zdroje