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pro vyhledávání: '"Harke, Alexander"'
Autor:
Harke, Alexander.
Techn. Univ., Diss., 2010--Hamburg.
Externí odkaz:
http://d-nb.info/1001371852/34
http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:gbv:830-tubdok-8670
http://doku.b.tu-harburg.de/volltexte/2010/867/
http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:gbv:830-tubdok-8670
http://doku.b.tu-harburg.de/volltexte/2010/867/
Autor:
Harke, Alexander
Neue Anwendungsgebiete für amorphes Silizium in der integrierten Optik werden entwickelt. Zunächst wird der Einfluss der Methode der Abscheidung sowie der Prozessparameter auf die Materialeigenschaften untersucht. Die Auswirkungen einer thermischen
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_dedup___::8b2b00508c9d5e1662701d85223fc165
http://tubdok.tub.tuhh.de/handle/11420/783
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Akademický článek
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