Zobrazeno 1 - 8
of 8
pro vyhledávání: '"Harita, Yoshiyuki"'
Publikováno v:
Polymer Engineering & Science; Aug1989, Vol. 29 Issue 14, p916-919, 4p
Autor:
Kamoshida, Yoichi, Koshiba, Mitsunobu, Yoshimoto, Hiroshi, Harita, Yoshiyuki, Harada, Kunihiro
Publikováno v:
Journal of Vacuum Science & Technology: Part B-Microelectronics Processing & Phenomena; 1983, Vol. 1 Issue 4, p1156-1159, 4p
Publikováno v:
Bulletin of the Chemical Society of Japan; May 1966, Vol. 39 Issue: 5 p889-892, 4p
Publikováno v:
Bulletin of the Chemical Society of Japan; November 1965, Vol. 38 Issue: 11 p1928-1934, 7p
Publikováno v:
Bulletin of the Chemical Society of Japan; November 1965, Vol. 38 Issue: 11 p1922-1928, 7p
Publikováno v:
Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures. 1:1156
Swelling behavior and resist performance of a series of chlorinated polymethylstyrenes, CPMS, were investigated. Measurements of swelling ratio and resolution of the CPMS resist coating in a wide variety of organic solvents disclosed that resolution
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::6ada3f4526af921671c03b07de610b7b
https://doi.org/10.1116/1.582656
https://doi.org/10.1116/1.582656
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.