Výsledky vyhledávání - "Hamy, A. L."

Conference

SUN: a fully automated interferometric test bench aimed at measuring photolithographic grade lenses with sub nanometer accuracy.

Autor: Bourgois, R., Hamy, A. L., Pourcelot, P.

Publikováno v: Proceedings of SPIE; 8/12/2017, Vol. 10448, p1-14, 14p

Zobrazit plný text záznamu

Periodical

SUN: A fully automated interferometric test bench aimed at measuring photolithographic grade lenses with a sub nanometer accuracy

Autor: Bentley, Julie L., Stoebenau, Sebastian, Bourgois, R., Hamy, A. L., Pourcelot, P.

Publikováno v: Proceedings of SPIE; November 2017, Vol. 10448 Issue: 1 p104481E-104481E-14, 10343634p

Zobrazit plný text záznamu

Conference

Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.