Zobrazeno 1 - 10
of 17
pro vyhledávání: '"Halle, Scott D."'
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Autor:
Wise, Richard S., Labelle, Catherine B., Halle, Scott D., Bloomfield, Max O., Gabor, Allen H., Dunn, Derren, Shephard, Mark
Publikováno v:
Proceedings of SPIE; March 2020, Vol. 11329 Issue: 1 p113290B-113290B-12, 11215723p
Publikováno v:
2016 27th Annual SEMI Advanced Semiconductor Manufacturing Conference (ASMC); 2016, p72-78, 7p
Autor:
Halle, Scott D., Hotta, Shoji, Koay, Chiew-seng, Chen, Shyng-Tsong, Kato, Takeshi, Yamaguchi, Atsuko, Colburn, Matthew
Publikováno v:
2012 SEMI Advanced Semiconductor Manufacturing Conference; 1/ 1/2012, p321-326, 6p
Autor:
Gallagher, Emily, Badger, Karen, Kodera, Yutaka, Tirapu Azpiroz, Jaione, Graur, Ioana, Halle, Scott D., Lai, Kafai, McIntyre, Gregory R., Wihl, Mark J., Chen, Shaoyun, Cong, Ge, Mu, Bo, Guo, Zhian, Dayal, Aditya
Publikováno v:
Proceedings of SPIE; Nov2009, Issue 1, p748807-748807-8, 8p
ACLV driven double-patterning decomposition with extensively added printing assist features (PrAFs).
Publikováno v:
Proceedings of SPIE; Nov2007 Part 2, Issue 1, p65201U-65201U-12, 12p
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Publikováno v:
Proceedings of SPIE; Nov2005, Issue 1, p699-707, 9p
Publikováno v:
Proceedings of SPIE; Nov2004, Issue 1, p1510-1521, 12p
Autor:
Liebmann, Lars W., Barish, Arnold E., Baum, Zachary, Bonges, Henry A., Bukofsky, Scott J., Fonseca, Carlos A., Halle, Scott D., Northrop, Gregory A., Runyon, Steven L., Sigal, Leon
Publikováno v:
Proceedings of SPIE; Nov2004, Issue 1, p20-29, 10p