Zobrazeno 1 - 10
of 21
pro vyhledávání: '"H. Sundstrom"'
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Publikováno v:
1998 International Conference on Ion Implantation Technology. Proceedings (Cat. No.98EX144).
The continued scaling of semiconductor devices toward smaller geometries imposes a requirement on ion implantation equipment to maintain production worthy beam currents at energies well below 10 keV. The Eaton ULE2 Ultra Low Energy implanter has been
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::3ba0e0886a8317ebfdc1b30d7f4c544c
https://doi.org/10.1109/iit.1999.812083
https://doi.org/10.1109/iit.1999.812083
Publikováno v:
1998 International Conference on Ion Implantation Technology. Proceedings (Cat. No.98EX144).
The process performance of a high current ultra low energy machine over a wide range of energies (200 eV to 30 keV) and high beam currents is characterized. Designed to meet the production needs of 0.18 /spl mu/m ultra shallow junction implants, the
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::bd86dbfbadc9029315bfc4b53c66447f
https://doi.org/10.1109/iit.1999.812192
https://doi.org/10.1109/iit.1999.812192
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.