Zobrazeno 1 - 10
of 26
pro vyhledávání: '"H. Ootera"'
Publikováno v:
Thin Solid Films. 374:190-207
Transport mechanisms of ions and neutrals in high aspect ratio contact holes during low-pressure, high-density plasma etching were investigated by both experiments and numerical simulations. Etching experiments were performed in electron cyclotron re
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::3b9f8fc9b623447fca0abab55e3cd15c
https://doi.org/10.1016/s0040-6090(00)01151-2
https://doi.org/10.1016/s0040-6090(00)01151-2
Publikováno v:
Digest of Papers Microprocesses and Nanotechnology 2000. 2000 International Microprocesses and Nanotechnology Conference (IEEE Cat. No.00EX387).
This paper presents an electrochemical surface cleaning (ECSC) technique for x-ray masks employing amorphous WN/sub x/ absorbers. The electrostatic surface potential of the mask in alkaline solutions is precisely controlled for preventing from corros
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::3906dadbcf72c9e834ef7dea93bd1b53
https://doi.org/10.1109/imnc.2000.872619
https://doi.org/10.1109/imnc.2000.872619
Autor:
K. Itoga, K. Sentoku, Takahiro Matsumoto, H. Ootera, Kenji Marumoto, Takashi Hifumi, T. Yamamoto, W. Wakamiya, Muneyoshi Suita, H. Sumitani, S. Ohishi, R. Edo
Publikováno v:
Digest of Papers. Microprocesses and Nanotechnology'98. 198 International Microprocesses and Nanotechnology Conference (Cat. No.98EX135).
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::c4339777809a6478d6c4cc2e8097461b
https://doi.org/10.1109/imnc.1998.730006
https://doi.org/10.1109/imnc.1998.730006
Autor:
H. Ootera, K. Nakanishi
Publikováno v:
IEEE Transactions on Power Delivery. 3:165-172
The measurement of surface charging on a spacer in a +or-500-kV HVDC gas-insulated switchgear (GIS) is performed by a capacitive probe set inside the gas tank. The various factors that cause measurement errors are examined using a simple model. An an
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::0b822647632c0eb68be5b0741a4029b8
https://doi.org/10.1109/61.4242
https://doi.org/10.1109/61.4242
Publikováno v:
Conference on Electrical Insulation & Dielectric Phenomena — Annual Report 1983.
Surface charging phenomena on spacers have been investigated by several researchers(1–5) as collected charges may work to impair the flashover properties at the time of polarity reversal. Some charging mechanisms have been proposed, assuming gas ph
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::adb4eeb963d989fdbf3e693935363277
https://doi.org/10.1109/ceidp.1983.7736370
https://doi.org/10.1109/ceidp.1983.7736370
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.