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Publikováno v:
Microelectronic Engineering. 11:397-400
To characterize instabilities, drifts, field distortions, and stitching errors of particle beam lithography systems with 10 nm resolution using optical microscopy and scanning electron microscopy, we employ the SELF-COMPARISON-METHOD. The superpositi
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https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::85b2544b8895bf81a8d28c42ae72592f
https://doi.org/10.1016/0167-9317(90)90138-j
https://doi.org/10.1016/0167-9317(90)90138-j
Autor:
K. Kiesel, H.-J. Heun
Publikováno v:
Electronics Letters. 9:565
Es wird eine neue, sehr einfache Schaltung zur komplexen Vorverzerrung hochfrequenter Signals beschrieben. Sie besteht aus einer HF-Brucke mit Laufzeitausgleich und einem nichtlinearen Glied. Die Wirkungsweise beruht darauf, daβ Nulzsignal und nicht
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https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::9827e4fb8c1ff0ef5c6515e01b1dad58
https://doi.org/10.1049/el:19730416
https://doi.org/10.1049/el:19730416