Zobrazeno 1 - 10
of 10
pro vyhledávání: '"H. Cichy"'
Publikováno v:
Proceedings of the IEEE 1999 International Interconnect Technology Conference (Cat. No.99EX247).
Aluminum based wiring is widely used in the back-end-of-line (BEOL) metallization of integrated circuits. In a 256 Mb dynamic random access memory (DRAM) product, the first level of Al wiring exists at a 0.20 /spl mu/m ground rule. Performance and re
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::2f5ba2478a57871f6f5738706fd8cba9
https://doi.org/10.1109/iitc.1999.787104
https://doi.org/10.1109/iitc.1999.787104
Publikováno v:
Journal of the Less Common Metals. 118:303-313
Evperiments using the volumetric Wagener method were performed with Ti/Me-film sandwich samples (Me = Ni, Fe, Pd and Mn). They show that the hydrogen absorption rate is enhanced by nickel, iron and palladium overlayers for films without ovygen precov
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::dd1f263d39806633d7b2589c5431082a
https://doi.org/10.1016/0022-5088(86)90181-5
https://doi.org/10.1016/0022-5088(86)90181-5
The influence of the Ti thickness of the AlSi/Ti/AlSi system on Ti/TiN was investigated by transmission electron microscopy (TEM), x-ray diffraction measurements, scanning electron microscopy (SEM) and energy dispersive x-ray analysis (EDX). The resu
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::f158326ad659df5eef510c325945d2fc
https://doi.org/10.1007/978-3-642-52314-4_137
https://doi.org/10.1007/978-3-642-52314-4_137
Publikováno v:
Chemischer Informationsdienst. 17
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::01cc66072af110c2f433c326c1279d25
https://doi.org/10.1002/chin.198633028
https://doi.org/10.1002/chin.198633028
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.