Zobrazeno 1 - 3
of 3
pro vyhledávání: '"Gutt, Thomas"'
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Autor:
Werber, Dorothea, Pfirsch, Frank, Gutt, Thomas, Komarnitskyy, Volodymyr, Schaeffer, Carsten, Hunger, Thomas, Domes, Daniel
Publikováno v:
2014 IEEE 26th International Symposium on Power Semiconductor Devices & IC's (ISPSD); 2014, p35-38, 4p
Measurements of trace gaseous ambient impurities on an atmospheric pressure rapid thermal processor.
Publikováno v:
Journal of Vacuum Science & Technology: Part A-Vacuums, Surfaces & Films; 1999, Vol. 17 Issue 2, p650-656, 7p