Výsledky vyhledávání - "Gushchin, O. P."

Akademický článek

Modeling the Dynamics of the Integral Dielectric Permittivity of a Porous Low-K Organosilicate Film during the Dry Etching of a Photoresist in O2 Plasma.

Autor: Rezvanov, A. A., Matyushkin, I. V., Gushchin, O. P., Gornev, E. S.

Publikováno v: Russian Microelectronics; Nov2018, Vol. 47 Issue 6, p415-426, 12p

Zobrazit plný text záznamu

Akademický článek

Atomic Layer Deposition in the Production of a Gate HkMG Stack Structure with a Minimum Topological Size of 32 nm.

Autor: Rudenko, K. V., Myakon'kikh, A. V., Rogozhin, A. E., Gushchin, O. P., Gvozdev, V. A.

Publikováno v: Russian Microelectronics; Jan2018, Vol. 47 Issue 1, p1-10, 10p

Zobrazit plný text záznamu

Akademický článek

Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.

Akademický článek

Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.

Akademický článek

Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.

Periodical

Spectroscopic study of chemical composition of high-frequency glow-discharge in halogen-containing gas mixtures

Autor: Gushchin, O. P., Dolgopolov, V. M., Pereverzev, L. E., Slovetskii, D. I.

Publikováno v: Journal of Applied Spectroscopy; September 1985, Vol. 43 Issue: 3 p971-975, 5p

Zobrazit plný text záznamu