Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.

Comparison of plasma sources for surface treatment applications: Radiofrequency inductively coupled and surface-wave microwave plasma sources.

Autor: Laurent, Christopher, Lo, Juslan, Caillier, Bruno, Therese, Laurent, Guillot, Phillipe

Publikováno v: 2014 IEEE 41st International Conference on Plasma Sciences (ICOPS) held with 2014 IEEE International Conference on High-Power Particle Beams (BEAMS); 2014, p1-1, 1p