Zobrazeno 1 - 6
of 6
pro vyhledávání: '"Grynko, Ross"'
Non-destructive measurement of bottom width in deep trench isolation structures using IRCD metrology
Autor:
Sendelbach, Matthew J., Schuch, Nivea G., Keller, Nick, Poulingue, Marc, Grynko, Ross, Ribaudo, Troy, Antonelli, G. Andrew, Li, Victor, Ravasio, Marcello, Le Cunff, Delphine
Publikováno v:
Proceedings of SPIE; April 2024, Vol. 12955 Issue: 1 p1295514-1295514-13
Autor:
Adan, Ofer, Robinson, John C., Antonelli, G. Andrew, Keller, Nick, Ribaudo, Troy, Wong, Franklin J., Ming, Wenmei, Ding, Hepeng, Chen, Zhuo, Grynko, Ross, Fumani, Ahmad, Liu, Zhuan, Takabayashi, Sadao, Hauck, John, Frederick, Joshua, Engelhard, Dan, Ng, Bo Hui, Ong, Biow Hiem, Liong, Luey Chwan
Publikováno v:
Proceedings of SPIE; February 2021, Vol. 11611 Issue: 1 p116111O-116111O-10, 11495000p
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Autor:
Houkun Liang, Krogen, Peter, Grynko, Ross, Novak, Ondrej, Chun-Lin Chang, Stein, Gregory J., Weerawarne, Darshana, Bonggu Shim, Kärtner, Franz X., Kyung-Han Hong
Publikováno v:
Optics Letters; 2015, Vol. 40 Issue 6, p1069-1072, 4p
Autor:
Adan, Ofer, Robinson, John C., Antonelli, G. Andrew, Keller, Nick, Ribaudo, Troy, Wong, Franklin J., Ming, Wenmei, Ding, Hepeng, Chen, Zhuo, Grynko, Ross, Fumani, Ahmad, Liu, Zhuan, Takabayashi, Sadao, Hauck, John, Frederick, Joshua, Engelhard, Dan, Ng, Bo Hui, Ong, Biow Hiem, Liong, Luey Chwan
Publikováno v:
Proceedings of SPIE; 11/4/2020, Vol. 11611, p116111O-116111O-10, 1p
Autor:
Liang, Houkun, Krogen, Peter, Grynko, Ross, Novak, Ondrej, Chang, Chun-Lin, Stein, Gregory J., Weerawarne, Darshana, Shim, Bonggu, Kartner, Franz X., Hong, Kyung-Han
Publikováno v:
2015 Conference on Lasers & Electro-Optics (CLEO); 2015, p1-2, 2p