Zobrazeno 1 - 10
of 24
pro vyhledávání: '"Gruska, Bernd"'
Publikováno v:
8th International Conference on Solid-State and Integrated Circuit Technology 2006 (ICSICT '06), Oct. 23-26, 2006, Shanghai, China. Proceedings, p. 2184-2186
Spectroscopic ellipsometry is emerging as a routine tool for in-situ and ex-situ thin-film characterization in semiconductor manufacturing. For interconnects in ULSI circuits, diffusion barriers of below 10 nm thickness are required and precise thic
Publikováno v:
Oral contributed presentation; 4th Workshop Ellipsometry, 20-22 February 2006, Berlin, Germany
Tantalum and tantalum nitride thin films are routinely applied as diffusion barriers in state-of-the-art metallization systems of microelectronic devices. In this work, such films were prepared by reactive magnetron sputtering on silicon and oxidized
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Autor:
Dittmar, Georg *, Gruska, Bernd
Publikováno v:
In Materials Science & Engineering B 2000 73(1):255-259
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Autor:
Das, Chittaranjan, Henkel, Karsten, Tallarida, Massimo, Schmeiβer, Dieter, Gargouri, Hassan, Kärkkänen, Irina, Schneidewind, Jessica, Gruska, Bernd, Arens, Michael
Publikováno v:
Journal of Vacuum Science & Technology: Part A-Vacuums, Surfaces & Films; Jan/Feb2015, Vol. 33 Issue 1, p1-8, 8p
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.