Zobrazeno 1 - 10
of 12
pro vyhledávání: '"Graham A. Rigby"'
Publikováno v:
Sensors and Actuators A: Physical. :226-230
A new silicon-diode-based infrared thermal detector array (1 × 4) has been developed. The silicon diode, as a temperature-sensing device, is built on a thin cantilever structure that is formed by micromachining. The thickness of the cantilever is ab
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::bc1cd36a87e711dcec0ff2bceb28df3c
https://doi.org/10.1016/0924-4247(93)80039-j
https://doi.org/10.1016/0924-4247(93)80039-j
Publikováno v:
Sensors and Actuators A: Physical. 36:209-217
A new silicon-diode-based infrared thermal detector has been developed. The silicon diode, as a temperature-sensing device, is built on a thin cantilever structure that is formed by micromachining. The thickness of the cantilever is about 5 μm. A th
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::dc74b36607729367be43a154fdb0efdc
https://doi.org/10.1016/0924-4247(93)80195-m
https://doi.org/10.1016/0924-4247(93)80195-m
Publikováno v:
Journal of Electronic Materials. 21:373-381
Thermal annealing, oxidation, and impurity doping of room-temperature dc magnetron sputter deposited silicon films are examined. It was found that even with a fine grain structure, the films can be doped to the desired sheet resistances suitable for
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::3110fc5fe0a51ad3aec300b54287a7ef
https://doi.org/10.1007/bf02660469
https://doi.org/10.1007/bf02660469
Publikováno v:
Smart Electronics and MEMS II.
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::e06024eb1212413030216fb602964d27
https://doi.org/10.1117/12.494947
https://doi.org/10.1117/12.494947
Publikováno v:
SPIE Proceedings.
Reported modification of CMOS processes to incorporate MEM structure require the structure to be located outside the active area. This paper describes the fabrication of microstructures directly over active devices rather than alongside them. Several
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::b1c6e2e47c77af130041ae483c41eea9
https://doi.org/10.1117/12.364441
https://doi.org/10.1117/12.364441
Autor:
Graham A. Rigby
Publikováno v:
Historical Records of Australian Science. 14:529
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::b32a0ad6c6ecb6a3bd16a27f1d1d1c6e
https://doi.org/10.1071/hr03011
https://doi.org/10.1071/hr03011
This report summarizes our research results in Integrated, High-Frequency Communication Circuits. A monolithic integrated circuit process giving 1.7 GHz transistors has been realized. This allowed realization of an optimum, wideband, low-distortion,
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::b5486a6f21d575d1f21e24f3300258bc
https://doi.org/10.21236/ada043560
https://doi.org/10.21236/ada043560
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.