Zobrazeno 1 - 10
of 18
pro vyhledávání: '"Goto, Akiyoshi"'
Autor:
Sato, Takuto, Fujiwara, Kenshu, Nogoshi, Keisuke, Goto, Akiyoshi, Domon, Daisuke, Kawamura, Natsumi, Nomura, Yoshitaka, Sato, Daisuke, Tanaka, Hideki, Murai, Akio, Kondo, Yoshihiko, Akiba, Uichi, Katoono, Ryo, Kawai, Hidetoshi, Suzuki, Takanori
Publikováno v:
In Tetrahedron 9 February 2017 73(6):703-726
Autor:
Goto Akiyoshi, Tango Naohiro, Ryo Nishio, Hidenori Takahashi, Shirakawa Michihiro, Toru Fujimori, Marumo Kazuhiro, Mitsuhiro Fujita, Kei Yamamoto
Publikováno v:
Journal of Photopolymer Science and Technology. 30:367-372
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::616e72894b0454019f04a4dc80569049
https://doi.org/10.2494/photopolymer.30.367
https://doi.org/10.2494/photopolymer.30.367
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Autor:
Wataru Nihashi, Hideaki Tsubaki, Marumo Kazuhiro, Tango Naohiro, Goto Akiyoshi, Kei Yamamoto, Hidenori Takahashi, Furutani Hajime, Mitsuhiro Fujita, Shirakawa Michihiro
Publikováno v:
SPIE Proceedings.
The main challenge in ArF lithography is to reduce cost of ownership (CoO) because increase in multi-patterning process is generally required to obtain a fine pattern. As a consequence, industry strongly requires ArF lithography process with a fast s
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::bfdd17e9ce056137da66249fabf8c499
https://doi.org/10.1117/12.2257956
https://doi.org/10.1117/12.2257956
Autor:
Furutani Hajime, Kei Yamamoto, Mitsuhiro Fujita, Shirakawa Michihiro, Naoki Inoue, Goto Akiyoshi
Publikováno v:
Advances in Patterning Materials and Processes XXXII.
Two approaches which achieve the further evolution of NTD (Negative Tone Development) process are shown in this article. One is ACCEL (Advanced Chemical Contrast Enhancement Layer) process that can improve the lithography performance and the other is
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::8b51802669cc608b122660ce25aff26f
https://doi.org/10.1117/12.2085744
https://doi.org/10.1117/12.2085744
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Autor:
Hohle, Christoph K., Gronheid, Roel, Shirakawa, Michihiro, Tsubaki, Hideaki, Furutani, Hajime, Nihashi, Wataru, Tango, Naohiro, Marumo, Kazuhiro, Yamamoto, Kei, Takahashi, Hidenori, Goto, Akiyoshi, Fujita, Mitsuhiro
Publikováno v:
Proceedings of SPIE; March 2017, Vol. 10146 Issue: 1 p101460E-101460E-8, 913149p
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Publikováno v:
In Tetrahedron Letters 2005 46(20):3465-3468
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.