Výsledky vyhledávání - "Gorushko, V. A."

Akademický článek

Methods and mechanisms of gettering of silicon structures in the production of integrated circuits

Autor: Pilipenko V. A., Gorushko V. A., Petlitskiy A. N., Ponaryadov V. V., Turtsevich A. S., Shvedov S. V.

Publikováno v: Tekhnologiya i Konstruirovanie v Elektronnoi Apparature, Iss 2-3, Pp 43-57 (2013)

Increasing the degree of integration of hardware components imposes more stringent requirements for the reduction of the concentration of contaminants and oxidation stacking faults in the original silicon wafers with its preservation in the IC manufa

Externí odkaz: https://doaj.org/article/aa8c54e7f1044e5481c070c762b8d02a

Zobrazit plný text záznamu

Akademický článek

Influence of Fast Thermal Treatment on the Electrophysical Properties of Silicon Dioxide.

Autor: Pilipenko, V. A., Solodukha, V. A., Gorushko, V. A.

Publikováno v: Journal of Engineering Physics & Thermophysics; Sep2018, Vol. 91 Issue 5, p1337-1341, 5p

Zobrazit plný text záznamu

Akademický článek

Properties of a silicon surface exposed to nanosecond laser-radiation pulses.

Autor: Pilipenko, V. A., Vecher, D. V., Gorushko, V. A., Syakerskii, V. S., Petlitskaya, T. V.

Publikováno v: Journal of Engineering Physics & Thermophysics; May2008, Vol. 81 Issue 3, p622-626, 5p, 2 Black and White Photographs, 1 Graph

Zobrazit plný text záznamu

Akademický článek

Modeling of the parameters of bipolar transistors.

Autor: Pilipenko, V., Vecher, D., Gorushko, V., Petlitskaya, T., Syakerskii, V.

Publikováno v: Journal of Engineering Physics & Thermophysics; May2007, Vol. 80 Issue 3, p617-624, 8p, 5 Graphs

Zobrazit plný text záznamu

Akademický článek

Modeling of Diffusion Synthesis of Titanium Disilicide.

Autor: Pilipenko, V., Molofeev, V., Ponomar', V., Mikhnyuk, A., Gorushko, V.

Publikováno v: Journal of Engineering Physics & Thermophysics; May2005, Vol. 78 Issue 3, p610-615, 6p

Zobrazit plný text záznamu

Akademický článek

Model of Laser Gettering of Fast-Diffusing Impurities.

Autor: Pilipenko, V., Ponomar', V., Gorushko, V.

Publikováno v: Journal of Engineering Physics & Thermophysics; May2005, Vol. 78 Issue 3, p616-619, 4p

Zobrazit plný text záznamu

Akademický článek

Cleaning of the Surface of Silicon Structures in the Technology of Very Large‐Scale Integrated Circuits with the Use of Rapid Heat Treatment.

Autor: Pilipenko, V. A., Ponomar, V. N., Gorushko, V. A.

Publikováno v: Journal of Engineering Physics & Thermophysics; Sep/Oct2003, Vol. 76 Issue 5, p1075-1079, 5p

Zobrazit plný text záznamu

Akademický článek

Removal of Photoresist Masks with the Use of Rapid Heat Treatment.

Autor: Pilipenko, V. A., Ponomar, V. N., Gorushko, V. A.

Publikováno v: Journal of Engineering Physics & Thermophysics; Sep/Oct2003, Vol. 76 Issue 5, p1080-1083, 4p

Zobrazit plný text záznamu

Akademický článek

Control of the Properties of Thin‐Film Systems with the Use of Pulsed Photon Treatment.

Autor: Pilippenko, V. A., Ponomar', V. N., Gorushko, V. A.

Publikováno v: Journal of Engineering Physics & Thermophysics; Jul/Aug2003, Vol. 76 Issue 4, p854-857, 4p

Zobrazit plný text záznamu

Vyhledávací nástroje:

Upřesnit hledání