Zobrazeno 1 - 10
of 178
pro vyhledávání: '"Gorelick, S."'
Publikováno v:
In Procedia Engineering 2014 87:1597-1600
Publikováno v:
In Nuclear Inst. and Methods in Physics Research, B 1 July 2013 306:307-310
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Publikováno v:
Feng, G, Arpiainen, S, Gorelick, S & Puurunen, R 2014, Silicon-based lateral high-aspect-ratio (LHAR) test structures for ALD growth conformality and uniformity evaluation . in BALD2014 Abstract book . 12th International Baltic Conference on Atomic Layer Deposition, Baltic ALD 2014, Helsinki, Finland, 12/05/14 .
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=355e65625b88::3fa045c96935d6d20ffe22e2551a2c7b
https://cris.vtt.fi/en/publications/d24ccffa-19ab-4ea1-886a-778592e0a50a
https://cris.vtt.fi/en/publications/d24ccffa-19ab-4ea1-886a-778592e0a50a
Publikováno v:
Feng, G, Grigoras, K, Arpiainen, S, Gorelick, S & Puurunen, R 2014, ' Conformality evaluation of ALD thin films with microscopic lateral High-Aspect-Ratio (LHAR) test structures ', 14th International Conference on Atomic Layer Deposition, ALD 2014, Kyoto, Japan, 15/06/14-18/06/14 .
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=355e65625b88::5967cfececb38e626f11c74cbd7f0448
https://cris.vtt.fi/en/publications/afffb765-70cd-4b12-8597-d42bcb8cf315
https://cris.vtt.fi/en/publications/afffb765-70cd-4b12-8597-d42bcb8cf315