Výsledky vyhledávání - "Goodyear, Andrew L."

Akademický článek

Irregular film thickness distribution in C4F8 inductively coupled plasma polymer deposition

Autor: Volland, Burkhard E., Hauguth, Maik, Ishchuk, Valentyn, Rangelow, Ivo W., Goodyear, Andrew L.

Publikováno v: In Microelectronic Engineering October 2012 98:524-527

Zobrazit plný text záznamu

Akademický článek

Thin film processing using S-layer proteins: Biotemplated assembly of colloidal gold etch masks for fabrication of silicon nanopillar arrays

Autor: Mark, Sonny S., Bergkvist, Magnus, Bhatnagar, Parijat, Welch, Colin, Goodyear, Andrew L., Yang, Xin, Angert, Esther R., Batt, Carl A.

Publikováno v: In Colloids and Surfaces B: Biointerfaces 2007 57(2):161-173

Zobrazit plný text záznamu

Conference

Large Batch Etching of Gallium Nitride Using Inductively Coupled Plasma Tools as a Production Solution.

Autor: Ren, Zhong, Dineen, Mark, Deng, Ligang, Goodyear, Andrew L., Gunn, Robert

Publikováno v: MRS Online Proceedings Library; 2009, Vol. 1195 Issue 1, p137-142, 6p

Zobrazit plný text záznamu

Akademický článek

Batch reactive ion etching of gallium nitride using photoresist as a mask.

Autor: Dineen, Mark, Lee, Sean, Deng, Ligang, Goodyear, Andrew L., Welch, Colin

Publikováno v: Physica Status Solidi (C); 2004, Vol. 1 Issue 10, p2573-2576, 4p

Zobrazit plný text záznamu

Akademický článek

High resolution inductively coupled plasma etching of 30 nm lines and spaces in tungsten and silicon.

Autor: Goodyear, Andrew L., Mackenzie, Sinclair, Olynick, Deirdre L., Anderson, Erik H.

Publikováno v: Journal of Vacuum Science & Technology: Part B-Microelectronics & Nanometer Structures; 2000, Vol. 18 Issue 6, p3471-3475, 5p

Zobrazit plný text záznamu