Zobrazeno 1 - 10
of 134
pro vyhledávání: '"Glosch, H."'
Autor:
Billat, S., Glosch, H., Kunze, M, Hedrich, F., Frech, J., Auber, J., Sandmaier, H., Wimmer, W, Lang, W.
Publikováno v:
In Sensors & Actuators: A. Physical 2002 97:125-130
Publikováno v:
In Sensors & Actuators: A. Physical 1999 74(1):246-250
Publikováno v:
In Sensors & Actuators: A. Physical 1999 73(1):7-13
Publikováno v:
Scopus-Elsevier
We are reporting on a new application of state of the art silicon pressure sensors in measurement of volume flows. Due to small sensor dimensions and suitable device passivation, the sensor element can be placed right in the flowing medium and detect
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_dedup___::14b95fa0bbc239bd9ddc4ba26d99cb02
https://doi.org/10.1115/imece1998-1279
https://doi.org/10.1115/imece1998-1279
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Publikováno v:
2007 IEEE 20th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS); 2007, p119-122, 4p
Publikováno v:
Proceedings MEMS 98 IEEE Eleventh Annual International Workshop on Micro Electro Mechanical Systems An Investigation of Micro Structures, Sensors, Actuators, Machines & Systems (Cat No98CH36176; 1998, p351-355, 5p
Autor:
Billat, S., Glosch, H., Kunze, M., Hedrich, F., Frech, J., Auber, J., Lang, W., Sandmaier, H., Wimmer, W.
Publikováno v:
Technical Digest. MEMS 2001. 14th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (Cat. No.01CH37090); 2001, p159-161, 3p
Autor:
Talic, Almir1 (AUTHOR) almir.talic@tuwien.ac.at, Cerimovic, Samir1 (AUTHOR) sauter@ict.tuwien.ac.at, Beigelbeck, Roman2 (AUTHOR) roman.beigelbeck@donau-uni.ac.at, Kohl, Franz2 (AUTHOR) franz.kohl.0@gmail.com, Sauter, Thilo1,2 (AUTHOR), Keplinger, Franz3 (AUTHOR) franz.keplinger@tuwien.ac.at
Publikováno v:
Sensors (14248220). May2023, Vol. 23 Issue 10, p4575. 19p.
Publikováno v:
Microelectronics Journal; March 1997, Vol. 28 Issue: 3 p327-335, 9p