Zobrazeno 1 - 5
of 5
pro vyhledávání: '"Giridhar, Dushyanth"'
Autor:
Zanelli, Claudio, Giridhar, Dushyanth, Keswani, Manish, Okada, Nagaya, Hsu, Jyhwei, Yam, Petrie
Wet photomask cleaning relies on megasonic agitation to enhance the process, but there are many challenges to reliably maximize particle removal efficiency (PRE) and minimize damage. With the shift to pellicle-free EUV masks, photomask processes are
Externí odkaz:
http://hdl.handle.net/10150/622537
http://arizona.openrepository.com/arizona/handle/10150/622537
http://arizona.openrepository.com/arizona/handle/10150/622537
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Autor:
Kasprowicz, Bryan S., Buck, Peter D., Zanelli, Claudio, Giridhar, Dushyanth, Keswani, Manish, Okada, Nagaya, Hsu, Jyhwei, Yam, Petrie
Publikováno v:
Proceedings of SPIE; October 2016, Vol. 9985 Issue: 1 p998524-998524-12
