Výsledky vyhledávání - "Ghazanfarian, Amir Aalam"

Akademický článek

Exploiting structure in fast aerial image computation for integrated circuit patterns.

Autor: Pati, Y. C., Ghazanfarian, Amir Aalam

Publikováno v: IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing. Feb97, Vol. 10 Issue 1, p62. 13p. 2 Black and White Photographs, 7 Diagrams, 1 Chart, 16 Graphs.

Zobrazit plný text záznamu

Conference

High-accuracy alignment based on subspace decomposition.

Autor: Ghazanfarian, Amir Aalam, Chen, Xun, McCord, Mark A., Pease, Roger Fabian W.

Publikováno v: Proceedings of SPIE; Nov1998 Part 2, Issue 1, p502-509, 8p

Zobrazit plný text záznamu

Conference

Application of the Brewster angle illumination technique to eliminate resist-induced alignment errors.

Autor: Chen, Xun, Ghazanfarian, Amir Aalam, McCord, Mark A., Pease, Roger Fabian W.

Publikováno v: Proceedings of SPIE; Nov1998 Part 2, Issue 1, p951-957, 7p

Zobrazit plný text záznamu

Conference

New approach to global alignment in IC manufacturing based on a neural network model.

Autor: Ghazanfarian, Amir Aalam, Pease, Roger Fabian W., Chen, Xun, McCord, Mark A.

Publikováno v: Proceedings of SPIE; Nov1997, Issue 1, p629-642, 14p

Zobrazit plný text záznamu

Vyhledávací nástroje:

Upřesnit hledání