Zobrazeno 1 - 7 of 7 pro vyhledávání: '"Geraghty, Patrice"'
1
Akademický článek
THE LOADLOCK: AN ATTRACTIVE LOCATION FOR MONITORING PARTICLES IN PROCESS TOOLS.
Autor: BORDEN, PETER, NGUYEN, HOANG, GERAGHTY, PATRICE
Publikováno v: Particulate Science & Technology; Jul1990, Vol. 8 Issue 3/4, p137-143, 7p
Zobrazit plný text záznamu
2
Akademický článek
In situ native oxide clean followed by chemical vapor deposition of tungsten silicide on polysilicon in a cluster tool.
Autor: Nowicki, Ronald S., Geraghty, Patrice, Harris, David, Lux, Gayle, Johnson, David J.
Publikováno v: Journal of Vacuum Science & Technology: Part A-Vacuums, Surfaces & Films; 1991, Vol. 9 Issue 3, p1073-1082, 10p
Zobrazit plný text záznamu
4
Conference
Rie-Induced Damage to Single Crystal Silicon Monitored with Nondestructive Thermal Waves.
Autor: Geraghty, Patrice, Smith, W. Lee
Publikováno v: MRS Online Proceedings Library; 01/02/1986, Vol. 68, pN.PAG-1, 1p
Zobrazit plný text záznamu
5
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
6
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
7
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.

Vyhledávací nástroje:

Upřesnit hledání

Omezení vyhledávání
Plný text Recenzováno Digitální knihovna AV ČR
Zdroje