Zobrazeno 1 - 10
of 52
pro vyhledávání: '"Geidel M"'
Autor:
Wojcik, H., Krien, C., Merkel, U., Bartha, J.W., Knaut, M., Geidel, M., Adolphi, B., Neumann, V., Wenzel, C., Bendlin, M., Richter, K., Makarov, D.
Publikováno v:
In Microelectronic Engineering December 2013 112:103-109
Autor:
Wojcik, H., Kaltofen, R., Merkel, U., Krien, C., Strehle, S., Gluch, J., Knaut, M., Wenzel, C., Preusse, A., Bartha, J.W., Geidel, M., Adolphi, B., Neumann, V., Liske, R., Munnik, F.
Publikováno v:
In Microelectronic Engineering April 2012 92:71-75
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Publikováno v:
2011 Semiconductor Conference Dresden (SCD); 2011, p1-4, 4p
Monitoring atomic layer deposition processes in situ and in real-time by spectroscopic ellipsometry.
Publikováno v:
2011 Semiconductor Conference Dresden (SCD); 2011, p1-4, 4p
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Autor:
Wojcik, H., Kaltofen, R., Krien, C., Merkel, U., Wenzel, C., Bartha, J.W., Friedemann, M., Adolphi, B., Liske, R., Neumann, V., Geidel, M.
Publikováno v:
Interconnect Technology Conference & 2011 Materials for Advanced Metallization (IITC/MAM), 2011 IEEE International; 2011, p1-3, 3p
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.