Výsledky vyhledávání - "Garhart, Jonathan"

Akademický článek

Low-temperature metal-organic chemical vapor deposition (LTMOCVD) of device-quality copper films for microelectronic applications.

Autor: Kaloyeros, Alain, Feng, Aiguo, Garhart, Jonathan, Brooks, Kenneth, Ghosh, Sumanta, Saxena, Arjun, Luehrs, Fred

Publikováno v: Journal of Electronic Materials; Mar1990, Vol. 19 Issue 3, p271-276, 6p

Zobrazit plný text záznamu

Conference

Chemical Vapor Deposition Route to the Fabrication of thin Films of High Temperature Oxide Superconductors.

Autor: Kaloyeros, Alain E., Brooks, Kenneth C., Feng, Aiguo, Garhart, Jonathan

Publikováno v: MRS Online Proceedings Library; 01/31/1989, Vol. 169, pN.PAG-1, 1p

Zobrazit plný text záznamu