Zobrazeno 1 - 10
of 42
pro vyhledávání: '"G.E. Sommargren"'
Autor:
D. S. Sweeney, F. Zernike, B. La Fontaine, J. E. Bjorkholm, S.P. Vernon, R. N. Kestner, G.E. Sommargren, D.R. Kania, D.P. Gaines, Daniel A. Tichenor
Publikováno v:
Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures. 14:3706
We have demonstrated significant advances in the production of aspheric optics for extreme ultraviolet lithography. An optic has been fabricated with an aspheric departure of 1.5 {mu}m, a figure error of 0.7 nm rms and a nanoroughness of 0.25 nm rms.
Autor:
G.E. Sommargren
Publikováno v:
Precision Engineering. 9:179-184
Laser measurement systems, based on optical heterodyne interferometry, have been a valuable tool for precision metrology for almost two decades. During this period measurement requirements have steadily increased without an accompanying improvement i
Autor:
G.E. Sommargren
Publikováno v:
Precision Engineering. 3:131-136
With the recent advances in generating extremely smooth surfaces, new surface metrologies are needed to stay one step ahead. This paper describes a non-contact optical instrument for measuring surface profile with a height sensitivity of the order of
Autor:
R.A. Lerche, G.E. Sommargren
Several pinhole collimator geometries for use in neutron imaging experiments have been modeled and compared. Point spread functions are shown for a cylinder, hyperbola, intersecting cones, and a five-zone approximation to the intersecting cones. Of t
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::c937ee78f1fb55b7d9037698f1569fb6
https://doi.org/10.2172/5498288
https://doi.org/10.2172/5498288
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.