Zobrazeno 1 - 10
of 30
pro vyhledávání: '"G.C. Angel"'
Autor:
Daniel F. Downey, G.C. Angel
Publikováno v:
Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms. 96:68-74
As+, 80 keV implants at specification beam currents were conducted on both the Varian E1000 and E220/E500 implanters to study metals contamination. The E1000 was configured with a silicon coated disc and spill-over cup and a newly designed low partic
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::7ff2916a3c55ef7a4c2203c00b05e8ef
https://doi.org/10.1016/0168-583x(94)00456-0
https://doi.org/10.1016/0168-583x(94)00456-0
Publikováno v:
Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms. 96:80-86
Optical elements at potential represent a serious concern for particle generation in ion implanters. Conditioning of acceleration columns is a well known phenomenon in accelerators but less well known is the fact that the microdischarging, which acco
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::5ff312e1db5df422fbb1778126b4c765
https://doi.org/10.1016/0168-583x(94)00458-7
https://doi.org/10.1016/0168-583x(94)00458-7
Publikováno v:
Proceedings of 11th International Conference on Ion Implantation Technology.
Evidence is presented showing that tungsten contamination can be detected in the range of 10-110 ppm of implanted dose for BF/sub 2//sup +/ implants. The contamination is absent in As/sup +/ implants. Analysis of isotopic ratios of the contaminant at
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::97d7d662ad9c7c041be208659963232f
https://doi.org/10.1109/iit.1996.586151
https://doi.org/10.1109/iit.1996.586151
Publikováno v:
Proceedings of 11th International Conference on Ion Implantation Technology.
Many issues contribute to the particle contamination of implanters. High current systems incur added microdischarging in the post accel system and accelerated erosion of beam defining stops and slits. The Varian VIISion implanter has been designed to
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::2bc8a7e323c1e4adea24b3f08bdd4642
https://doi.org/10.1109/iit.1996.586171
https://doi.org/10.1109/iit.1996.586171
Publikováno v:
Journal de Physique IV Proceedings
Journal de Physique IV Proceedings, EDP Sciences, 1991, 01 (C1), pp.C1-99-C1-107. ⟨10.1051/jp4:1991113⟩
Journal de Physique IV Proceedings, EDP Sciences, 1991, 01 (C1), pp.C1-99-C1-107. ⟨10.1051/jp4:1991113⟩
Recent measurements of the photoionization cross sections of O, N, and C2 are reviewed and new data are presented for Ne, Ar, Kr , and Xe. These latter results are compared with theory and reveal areas of important disagreement.
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_dedup___::5278209786407901de4abb0e5a6dd236
https://hal.archives-ouvertes.fr/jpa-00249751/document
https://hal.archives-ouvertes.fr/jpa-00249751/document
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.