Zobrazeno 1 - 2
of 2
pro vyhledávání: '"G.A.J.H. Sim"'
Autor:
Jeff J. Peterson, Y. Kim, Nirmal Chaudhary, Chadwin D. Young, Gennadi Bersuker, Byoung Hun Lee, Peter Zeitzoff, G.A.J.H. Sim, M. Gardner, J. Gutt, George A. Brown, Sundararaman Gopalan, Joel Barnett, H.-J. Li, P. Lysaght, Howard R. Huff, Naim Moumen, Robert W. Murto
Publikováno v:
Scopus-Elsevier
Electrical properties of a wide range of Hf-based gate stacks were investigated using several modifications of a standard planar CMOS process flow to address the effects of transistor processing on the electrical properties of the high-k dielectrics.
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.