Zobrazeno 1 - 2
of 2
pro vyhledávání: '"G.A. Kovachov"'
Autor:
G.A. Kovachov, O.E. Latish, A. Schmidt, Gregor Feiertag, A. N. Artemiev, T.Y. Rakhimbabaev, S. Peredkov, D.G. Odintsov, E.S. Tzvid, V.V. Martynenko, V.P. Moryakov, V.A. Kolyasnikov, V.G. Stankevitch, I.N. Bushev, M. Schmidt, B.I. Nikitin
Publikováno v:
Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section A: Accelerators, Spectrometers, Detectors and Associated Equipment. 405:496-499
A Deep X-ray Lithography (DXRL) beamline at the Kurchatov Synchrotron Radiation Source (KSRS) has been constructed and commissioned. For the irradiation a simple exposure apparatus and synchrotron radiation with a critical energy of about 7 keV was u
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::b8967d38aa9850bbbe26137fbb417eec
https://doi.org/10.1016/s0168-9002(96)01129-1
https://doi.org/10.1016/s0168-9002(96)01129-1
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.