Zobrazeno 1 - 10
of 17
pro vyhledávání: '"G. Minamihaba"'
Autor:
T. Watanabe, H. Nasu, T. Usui, G. Minamihaba, N. Kurashima, A. Gawase, M. Shimada, Y. Yoshimizu, Y. Uozumi, H. Shibata
Publikováno v:
2007 IEEE International Interconnect Technology Conferencee.
Self-formed barrier technology using copper (Cu) manganese (Mn) alloy seed was applied for Cu dual-damascene interconnect with porous-SiOC/porous-PAr (k=2.3) hybrid dielectric for the first time. More than 90% yield for wiring and via-chain was obtai
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::2986ab43d3377475e4890f02ae6568af
https://doi.org/10.1109/iitc.2007.382332
https://doi.org/10.1109/iitc.2007.382332
Autor:
A. Yagishita, T. Saito, K. Nakajima, S. Inumiya, Y. Akasaka, Y. Ozawa, G. Minamihaba, H. Yano, K. Hieda, K. Suguro, T. Arikado, K. Okumura
Publikováno v:
International Electron Devices Meeting 1998. Technical Digest (Cat. No.98CH36217).
We propose a plasma and thermal damage-free gate process named the "Damascene gate process" where CMP (Chemical Mechanical Polishing) is used in forming the gate structure. By using this process, fully planarized high performance metal (W/TiN or Al/T
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::200558a1df2a27cc7d837276e6b5ef85
https://doi.org/10.1109/iedm.1998.746473
https://doi.org/10.1109/iedm.1998.746473
Autor:
Yukiteru Matsui, Noriaki Matsunaga, Rempei Nakata, S. Seta, K. Higashi, Hideshi Miyajima, M. Kawai, Nobuo Hayasaka, H. Ichinose, G. Minamihaba, N. Yamada
Publikováno v:
Extended Abstracts of the 1999 International Conference on Solid State Devices and Materials.
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::fd758bee6b68f0effa39e45a8ea3f791
https://doi.org/10.7567/ssdm.1999.b-13-3
https://doi.org/10.7567/ssdm.1999.b-13-3
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.