Zobrazeno 1 - 10
of 71
pro vyhledávání: '"G. Heldt"'
Autor:
S. Schermer, C. Helke, M. Reinhardt, S. Hartmann, F. Tank, J. Wecker, G. Heldt, A. Voigt, D. Reuter
Publikováno v:
Micro and Nano Engineering, Vol 23, Iss , Pp 100264- (2024)
In this paper the characterization of the mr-EBL 6000.5, which is an epoxy resin based chemically amplified negative tone resist from micro resist technology (Germany, Berlin) for an Intra-Level Mix & Match (ILM&M) approach is presented. The ILM&M ap
Externí odkaz:
https://doaj.org/article/85b67882f0a44dc19ef28076d355b3a3
Publikováno v:
Micro and Nano Engineering, Vol 19, Iss , Pp 100189- (2023)
Herein, an Intra-level Mix & Match approach (ILM&M) was investigated to combine electron beam lithography (EBL) and i-line stepper lithography on the same resist layer. This technique allows the combination of the advantages from both technologies. E
Externí odkaz:
https://doaj.org/article/cde5d619612a41fc8b6116547cfd59b8
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.