Zobrazeno 1 - 5
of 5
pro vyhledávání: '"Fuji, Shinji"'
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Publikováno v:
Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms. 74:191-196
Damage density profiles are measured in ion implanted silicon. The correlation of quantitative damage density measured by Rutherford backscattering spectrometry with photo-thermal displacement (PAD) is found. However, it is not obtained in photo-ther
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::9d69fe44faba5e7c8af7a5554f1eaa6c
https://doi.org/10.1016/0168-583x(93)95041-3
https://doi.org/10.1016/0168-583x(93)95041-3
Publikováno v:
Acta Oncologica; 1998, Vol. 37 Issue 5, p471-474, 4p
Publikováno v:
In Ion Implantation Technology - 92 1993:191-196