Zobrazeno 1 - 7
of 7
pro vyhledávání: '"Fueldner, Marc"'
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Publikováno v:
IEEE Journal of Solid-State Circuits; 2024, Vol. 59 Issue: 7 p2005-2018, 14p
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Autor:
Fueldner, Marc
Publikováno v:
In Handbook of Silicon Based MEMS Materials and Technologies Edition: Third Edition. 2020:937-948
Autor:
Aalto, Timo, Airaksinen, Veli-Matti, Albert, Stephan Gerhard, Allegato, Giorgio, Amiotti, Marco, Anttila, Olli, Auersperg, Juergen, Bonucci, Antonio, Bose, Indranil Ronnie, Braun, Tanja, Broas, Mikael, Burggraf, J., Cameron, Christopher, Candler, Rob N., Cao, Zhen, Cardoso, André, Chen, Kuo-Shen, Conte, Andrea, Cozma, Adriana, Davis, Cristina E., Dempwolf, Sophia, Dixit, Pradeep, Dost, Michael, Dragoi, Viorel, Eränen, Simo, Fain, Bruno, Figeys, B., Fischer, Andreas C., Flötgen, Christoph, Franssila, Sami, Friedberger, Alois, Fueldner, Marc, Ganchenkova, Maria, Gonzalez, Pilar, Gosálvez, Miguel A., Grimes, Michael, Haapalinna, Atte, Hagelin, Paul, Hammond, Paul, Henttinen, Kimmo, Henttonen, Vesa, Horsley, David, Hoshi, Takeo, Itoh, Satoshi, Jakobsen, Henrik, Jansen, R., Jonsson, Kerstin, Kähler, Dirk, Kannojia, Harindra Kumar, Kattelus, Hannu, Kissinger, Gudrun, Knechtel, Roy, Knese, Kathrin, Kolari, Kai, Koskenvuori, Mika, Kuisma, Heikki, Kulkarni, Amit, Laermer, Franz, Landesberger, Christof, Leinenbach, Christina, LeVasseur, Michael K., Li, Jue, Lin, Yuyuan, Lindner, Paul F., Lodewijks, K., Lofink, Fabian, Longoni, Giorgio, Luber, Sebastian Markus, Mahmud-ul-hasan, M., Mäkinen, Jari, Mäntysalo, Matti, Martin, Devin, Maspero, Federico, Mattila, Toni T., Mauri, Luca, Merz, Peter, Meyer, Doug, Moraja, Marco, Motooka, Teruaki, Müller, Gerhard, Muralt, Paul, Nieminen, Risto M., Niklaus, Frank, Oggioni, Laura, Olkkonen, Juuso, Österlund, Elmeri, Ou, Kuang-Shun, Paloheimo, Jari, Pasanen, Toni P., Paulasto-Kröckel, Mervi, Plach, Thomas, Polizzi, Jean-Philippe, Pressel, Klaus, Putkonen, Matti, Puurunen, Riikka L., Reinert, Wolfgang, Rizzi, Enea, Rochus, V., Ross, Glenn, Rottenberg, X., Sainiemi, Lauri, Savin, Hele, Schenk, Harald, Schikowski, Marc, Schulze, Matthias, Seema, S., Severi, S., Skogström, Lasse, Suga, Tadatomo, Sullivan, Scott, Suni, Tommi, Theuss, Horst, Tilli, Markku, Tilmans, H.A.C., Tittonen, Ilkka, Tofteberg, Hannah, Törmä, Pekka, Tuomikoski, Santeri, Tyholdt, Frode, Uda, Tsuyoshi, Vallin, Örjan, Valzasina, Carlo, Veijola, Timo, Viinikka, Eeva, Vogel, Dietmar, Vogl, Andreas, Vuorinen, Vesa, Westervelde, W.J., Wicht, Sebastian, Wieland, Robert, Winkler, Bernhard, Yobas, Levent, Zanotti, Luca, Zubel, I.
Publikováno v:
In Handbook of Silicon Based MEMS Materials and Technologies Edition: Third Edition. 2020:xv-xvii
Autor:
Wasisto HS; Infineon Technologies AG, Am Campeon 1-15, Neubiberg, Germany. hutomosuryo.wasisto@infineon.com., Anzinger S; Infineon Technologies AG, Am Campeon 1-15, Neubiberg, Germany., Acanfora G; Infineon Technologies AG, Am Campeon 1-15, Neubiberg, Germany.; Institute of Semiconductor Technology (IHT) and Laboratory for Emerging Nanometrology (LENA), Technische Universität Braunschweig, Hans-Sommer-Str. 66, Braunschweig, Germany., Farrel A; Infineon Technologies AG, Am Campeon 1-15, Neubiberg, Germany.; TUM School of Natural Sciences, Technische Universität München, James-Franck-Str. 1, Garching, Germany., Sabatini V; SAATI SPA, Via Milano 14, Appiano Gentile, Como, Italy., Grimoldi E; SAATI SPA, Via Milano 14, Appiano Gentile, Como, Italy., Marelli V; SAATI SPA, Via Milano 14, Appiano Gentile, Como, Italy., Ovsiannikov N; Infineon Technologies AG, Am Campeon 1-15, Neubiberg, Germany.; TUM School of Computation, Information, and Technology (CIT), Technische Universität München, Arcisstraße 21, München, Germany., Tkachuk K; Infineon Technologies AG, Am Campeon 1-15, Neubiberg, Germany., Tosolini G; Infineon Technologies AG, Am Campeon 1-15, Neubiberg, Germany., Lucignano C; SAATI SPA, Via Milano 14, Appiano Gentile, Como, Italy., Mietta M; SAATI SPA, Via Milano 14, Appiano Gentile, Como, Italy., Zhang G; Infineon Technologies AG, Am Campeon 1-15, Neubiberg, Germany., Fueldner M; Infineon Technologies AG, Am Campeon 1-15, Neubiberg, Germany., Peiner E; Institute of Semiconductor Technology (IHT) and Laboratory for Emerging Nanometrology (LENA), Technische Universität Braunschweig, Hans-Sommer-Str. 66, Braunschweig, Germany. e.peiner@tu-braunschweig.de.
Publikováno v:
Communications engineering [Commun Eng] 2024 Sep 23; Vol. 3 (1), pp. 136. Date of Electronic Publication: 2024 Sep 23.